產品優點:
1.左、右爐皆可單獨蒸著。
2. 可加裝RF或濺鍍把材。
3. 搭配電漿聚合表面處理模組，不但環保、低汙染，還能滿足產品阻水、阻氣或疏水的特性要求，更加提高產品的附加價值。
產品用途:
1.合金輪胎鋼圈、汽車燈罩、電器零件...等產品之金屬化或NCVM蒸著。
2.化妝品容器、香水瓶、各式聖誕飾品...等產品之金屬化或NCVM蒸著。
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BSD-1300機械主構成
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腔體直徑
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1,300 mm |
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腔體高度
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1,300 mm~1,800 mm |
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可蒸鍍尺寸
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∮375x1,400 mm x6 |
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視窗
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1組 |
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鎢絲數
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18~22個 |
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迴轉幫浦
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6,000~10,000 公升/ 每分鐘 |
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加強幫浦
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1,500~3,000 M3/ 每小時 |
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擴散幫浦
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30000~ 45,000公升/ 每秒 |
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維持幫浦
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300~600公升/每分鐘 |
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高真空閥
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28~36英吋 |
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粗抽閥
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6英吋 |
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預抽閥
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6英吋 |
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洩氣閥
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2英吋 |
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維持閥
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1英吋 |
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到達真空度
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優於10-6Torr |
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排氣速度
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從一個大氣壓到5x10-5Torr 約十分鐘(含Unloading) |
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操作方式
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自動,手動 |
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蒸著電源
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30KW |
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真空計
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Pirani (760 ~10-3Torr); Cold Cathode (10-3~ 10-6 Torr) |
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控制箱
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1組 |
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冷卻系統
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15 RT (水壓: 4Kg/ cm2,壓差:2Kg/ cm2) |
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冷卻水流量
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100 公升/ 每分鐘 |
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冷卻水溫度
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入水18℃,出水25℃,標準溫度20℃ |
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空壓機
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3~5HP (空壓: 6 ~ 8 Kg/ cm2) |
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所需電力
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75KW
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